Edwards展出適用太陽能等產業的真空及尾氣處理系統新品
真空產品和尾氣處理系統及相關加值服務的全球供應商Edwards公司 (NASDAQ: EVAC),在2012年再度參加SEMICOM Taiwan半導體展覽,展示其業界之真空和尾氣處理系統的新產品系列,展場位于臺北世貿南港展覽館,Edwards公司展位編號為545。
Edwards是干式真空泵浦系統的,其適用于半導體及其他相關產業包括LED、平面顯示器、太陽能產品等產業的生產制造沉積制程,處理惡劣與腐蝕性的化學環境。
Edwards的干式泵浦解決方案和尾氣處理系統的運作不僅環保,而且十分具有效益。其干式泵浦如iXL 和 iXH系列可以地節能減碳。今年SEMICON Taiwan展場中新發表的iXL1000,是為電介質刻蝕及輕型應用所設計的干式真空泵浦, 相較于成功的同等級iGX/GX系列干式泵浦,它能再降低多達33%的耗電量。同樣的,Edwards的尾氣處理解決方案,也有類似的綠色環保特色,并能降低燃油消耗。
Edwards的干式泵浦和尾氣處理系統正在被應用于臺灣的半導體及相關產業,當中包括臺灣主要的代工產業,Edwards在臺灣至今已經安裝過22,000臺干式和渦輪分子泵浦,以及3,000組尾氣處理系統。臺灣了外延片代工模式,在充滿挑戰的全球環境下,臺灣的外延片代工廠持續投資于的,并把組件尺寸縮少到在奈米尺寸制程。Edwards的干式泵浦和尾氣處理系統,在臺灣能成功將半導體制程跨入深次微米 (deep-submicron) 的過程中,扮演了重要的關鍵角色;同時在日益重要的化合物半導體生產等新興制程中,Edwards也能根據新的應用之需求,提供適合的產品組合。
Edwards亞太區總裁 Neil Lavender-Jones指出:“Edwards在臺灣了兩方面的作用。我們業界的干式泵浦,對現今半導體生產制程中所需的真空環境而言,是關鍵的核心。Edwards幫助整個產業以低成本獲得、及節能的真空環境,并在維持高產量和高硅片“一次成功率”中了重要作用。同樣重要的是,我們的尾氣處理系統了在這些制程中產生的高污染物質,包含可能加速全球暖化的氣體,將沒有任何機會擴散到自然環境里。對于 Edwards公司來說,環保是企業的首要社會責任,我們始終不變的目標是將環境的碳足跡減到少。”
2011年,Edwards客戶在全球各地的設備總共減少排放相當于8,500,000公噸的二氧化碳。Edwards將參與9月6日(星期四)在臺北世貿南港展覽館402A室,由SEMICON Taiwan 2012展會舉辦的綠色制程趨勢論壇,強調Edwards在環境管理中扮演的角色和肩負的責任。論壇主題是綠色生產制造的,真空產品業務經理 Mike Percy和產品經理Jerome Boegner將會發表演說,題目為“真空和尾氣處理系統在能源和設備方面的節省優勢” (時間為下午3:00到3:30)。
自1998年Edwards在臺灣設立以來,公司的規模已成長五倍,員工數從42名擴展至目前共有205名。2010年Edwards更加強對臺灣客戶的承諾,于苗粟縣竹南鎮設置一占地5,000平方米 的服務銷售中心,為顧客帶來更貼近的在地服務,并擴展各項服務的范圍。隨著Edwards在臺灣不斷的提供服務改進和支援,也吸引了眾多的客戶,在短短兩年內,公司在臺灣的服務業務已經出現的成長。
Edwards在亞洲深耕達四十年,現在與此區域各個的半導體制造商合作,提供整合式真空和尾氣處理解決方案,包括建置、管理、服務和支援。